橢偏儀LSE-WS
橢偏儀LSE- ? LSE-毫米 ?橢圓儀LSE-WS 橢圓儀是一種高速薄膜厚度測(cè)繪系統(tǒng),每秒測(cè)量一個(gè)位置,包括載物臺(tái)行程!它使用先進(jìn)的 ?技術(shù)(曾榮獲 和R&D 100*佳新產(chǎn)品獎(jiǎng)),可在任何*大的晶圓上提供無(wú)傾斜,無(wú)焦點(diǎn),2D / 3D色彩厚度和索引圖像。該單元的優(yōu)雅設(shè)計(jì)提供了****的易用性和瞬時(shí)測(cè)量功能,其成本遠(yuǎn)低于傳統(tǒng)的生產(chǎn)控制計(jì)量系統(tǒng)。LSE-WS價(jià)格合理,是高精度掃描橢圓儀中的流行選擇。特征無(wú)故障,無(wú)移動(dòng)部件的高級(jí)?測(cè)量頭。測(cè)量極化的完整狀態(tài),以提高準(zhǔn)確性。使用光譜精確的激光橢偏儀進(jìn)行準(zhǔn)確,穩(wěn)定的測(cè)量。*快的薄膜測(cè)量?jī)x器。免傾斜,免聚焦,免提操作,適用于類似晶片。簡(jiǎn)單,緊湊的臺(tái)式儀器-價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力。高精度和高性能LSE-WS模型建立在經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的 ?橢偏儀系列產(chǎn)品之上,并在全球范圍內(nèi)廣泛使用。
從薄的柵氧化物到只有幾十埃厚的聚酰亞胺和光致抗蝕劑,蓋特納以提供精確,可靠的結(jié)果而聞名。LSE-WS模型設(shè)定了高性能標(biāo)準(zhǔn),可以滿足當(dāng)今要求更高的計(jì)量應(yīng)用。諸如氧化物,氮化物和光致抗蝕劑的單層膜可以被測(cè)量到亞埃精度??梢詼y(cè)量?jī)蓪?,三層和四層薄膜,這些薄膜具有已知的底層,例如頂層氧化層和頂層氧化層,或者頂層的厚度和折射率。?軟件增強(qiáng)了易用性和理解力。出色的圖形測(cè)量結(jié)果顯示在計(jì)算機(jī)顯示屏上,可以發(fā)送到打印機(jī)。存儲(chǔ)在文本數(shù)據(jù)文件中的結(jié)果以2D等高線或3D地圖圖像顯示。圖像可以旋轉(zhuǎn),傾斜,縮小或放大以立即查看和解釋。膜厚的二維輪廓圖膜厚的3D輪廓圖主屏幕易于使用的LSE-WS 橢圓儀操作簡(jiǎn)單。用戶與單個(gè)主程序屏幕交互,因此設(shè)置易于理解并且可以快速進(jìn)行測(cè)量。可以輕松訪問(wèn)存儲(chǔ)的配方以掃描不同的膠片和圖案。只需單擊一下鼠標(biāo),即可自動(dòng)掃描類似的晶圓。操作員可以選擇1、5、9或49點(diǎn)圓形測(cè)量,XY網(wǎng)格,直徑或具有多達(dá)1000個(gè)測(cè)量點(diǎn)的極性掃描,并設(shè)置晶片邊緣排除。高精度平臺(tái)高質(zhì)量步進(jìn)電機(jī)平臺(tái)可提供精確且可重復(fù)的位置。晶片通過(guò)真空保持在光學(xué)平臺(tái)上。平臺(tái)在編程的計(jì)算機(jī)控制下以快速而精確的步驟自動(dòng)移動(dòng)。
包括載物臺(tái)行程在內(nèi)的每點(diǎn)測(cè)量時(shí)間少于一秒。步進(jìn)精度優(yōu)于10微米,可輕松設(shè)置覆蓋區(qū)域和該區(qū)域內(nèi)的點(diǎn)以進(jìn)行自動(dòng)掃描。速度和穩(wěn)定性LSE-WS橢偏儀通過(guò)以70°入射角反射來(lái)自樣品表面的偏振激光束進(jìn)行測(cè)量,并幾乎瞬時(shí)確定由樣品引起的偏振變化。由于?測(cè)量頭中沒(méi)有活動(dòng)部件,因此即使連續(xù)使用數(shù)月也可以進(jìn)行準(zhǔn)確且可重復(fù)的測(cè)量。通過(guò)使用穩(wěn)定的,光譜精確的,高信噪比的HeNe氣體激光光源二氧化碳報(bào)警器,可以進(jìn)一步提高測(cè)量精度。?技術(shù)的說(shuō)明這種先進(jìn)的設(shè)備無(wú)需移動(dòng)部件,也不需要調(diào)制器,可以快速氧氣分析儀,準(zhǔn)確地確定測(cè)量光束的完整偏振狀態(tài)。上圖顯示了用于同時(shí)測(cè)量所有四個(gè)光參數(shù)的?光旋光儀。待確定其偏振狀態(tài)的光束以傾斜的入射角連續(xù)入射三個(gè)光電探測(cè)器表面,每個(gè)光電探測(cè)器表面均被部分光譜反射甲苯報(bào)警器,并且每個(gè)光電探測(cè)器表面均產(chǎn)生與光電探測(cè)器的分?jǐn)?shù)成比例的電信號(hào)。它吸收的輻射。第四光電探測(cè)器基本上完全吸收光氧氣分析儀,并檢測(cè)其余的光。這樣形成的四個(gè)輸出形成一個(gè)4x1信號(hào)矢量I,它與輸入斯托克斯矢量S線性相關(guān),即I = AS。所以,小號(hào)通過(guò)獲得S =甲(-1)予。4x4儀器矩陣A必須是非奇異的,這要求前三個(gè)檢測(cè)器表面的入射平面都不同。
對(duì)于給定的四個(gè)檢測(cè)器布置,可以通過(guò)校準(zhǔn)來(lái)計(jì)算或確定A。技術(shù)優(yōu)勢(shì)簡(jiǎn)單,緊湊的?取代了由鼓,棱鏡,編碼器,開(kāi)關(guān),電動(dòng)機(jī)和檢測(cè)器及其相關(guān)電子設(shè)備組成的典型旋轉(zhuǎn)分析儀組件。另外,消除了偏振器臂上的波片機(jī)構(gòu)。這樣就可以實(shí)現(xiàn)快速,精確,穩(wěn)定的無(wú)運(yùn)動(dòng)部件橢偏儀。斯托克斯()橢圓儀的一項(xiàng)出色功能是對(duì)由于樣品不平整而導(dǎo)致的角光束偏差的微小變化進(jìn)行補(bǔ)償。這種補(bǔ)償允許在整個(gè)晶片表面上進(jìn)行快速,連續(xù)掃描,而無(wú)需暫停以校正聚焦和傾斜。當(dāng)掃描相似的晶片時(shí),高速,無(wú)傾斜,無(wú)焦點(diǎn),自動(dòng)操作是明顯的好處。上面顯示的可選LMS 系統(tǒng)可選的 LMS,用于通過(guò)15微米測(cè)量激光束直徑測(cè)量晶圓上的小區(qū)域。10微米載物臺(tái)定位和CCD攝像機(jī)可在PC上查看測(cè)量區(qū)域,從而允許使用先進(jìn)的?技術(shù)查看和測(cè)量小至15 X 45微米的區(qū)域??蛇x的小光點(diǎn)LSS光學(xué)系統(tǒng)將樣品上的標(biāo)準(zhǔn)1毫米激光束減少到0.25 x 0.75毫米可選的L-SCAT太陽(yáng)能電池/散射樣品測(cè)量太陽(yáng)能電池行業(yè)中常見(jiàn)的粗糙散射樣品很難用大多數(shù)橢圓偏振儀精確測(cè)量,因?yàn)樾盘?hào)強(qiáng)度損失且測(cè)量光束去極化。
盡管有提高信號(hào)強(qiáng)度和捕獲更多散射光的方法,但是處理去極化要困難得多,理想情況下,需要確定極化的完整狀態(tài),即測(cè)量4個(gè)斯托克斯參數(shù)s0,s1,s2,s3。蓋特納斯托克斯橢偏做到這一點(diǎn)自然是我們?偏振計(jì)用作橢圓儀分析儀。這使橢偏儀具有獨(dú)特的功能,可以立即將測(cè)量光束的偏振和非偏振分量分開(kāi),從而僅基于光的全部偏振分量就可以對(duì)薄膜厚度和折射率進(jìn)行高精度測(cè)量。L-SCAT散射選項(xiàng)包括對(duì)硬件的修改,可以捕獲更多來(lái)自粗糙,有紋理的表面的散射光,并且可以顯示偏振度P的程序。但是請(qǐng)記住,某些樣本可能太粗糙而散射太多的光用橢圓偏振法測(cè)量??蛇x的校準(zhǔn)套件L118-KIT使用4個(gè)可追溯晶圓加玻璃(-KIT)或4個(gè)NIST可追溯晶圓加玻璃(-KIT)重新校準(zhǔn)任何橢圓儀。中號(hào)OST用戶將不需要橢偏儀校準(zhǔn)。適用于具有極其嚴(yán)格的公差和法規(guī)遵從用戶的*嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造商。 ?橢偏儀LSE-WS規(guī)格對(duì)準(zhǔn):傾斜度和工作臺(tái)高度通過(guò)計(jì)算機(jī)校準(zhǔn)屏幕顯示。專有的傾斜和工作臺(tái)高度系統(tǒng)可校正普通的樣品傾斜和不平整度氧氣分析儀,而無(wú)需重新調(diào)整樣品或復(fù)雜,昂貴且緩慢的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)。
入射角:70度測(cè)量方法:先進(jìn)的無(wú)需任何移動(dòng)部件和調(diào)制器,只需4個(gè)固定式硅探測(cè)器即可讀取完整的光束偏振,因此測(cè)量準(zhǔn)確且穩(wěn)定。測(cè)量時(shí)間:每點(diǎn)1秒,包括舞臺(tái)行程。測(cè)量激光:光譜精確,穩(wěn)定氧氣分析儀,持久的HeNe 激光器,光束直徑為1毫米(在70的晶片上為1x3毫米,典型壽命為3年以上。NIST使用類似的光源來(lái)生成校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)??蛇x的具有15 x 45微米的光斑, CCD攝像機(jī)查看。對(duì)準(zhǔn)激光:670 nm激光二極管軟件:2D / 3D彩色圖形可在?下運(yùn)行樣品(晶圓)尺寸:直徑標(biāo)準(zhǔn)可達(dá)。保持真空(需要5英寸汞柱)。階段:精密步進(jìn)電機(jī)在用戶編程的計(jì)算機(jī)控制下,帶有手動(dòng)按鈕超馳。線性和360°旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)覆蓋了樣品上的任何點(diǎn)??蓛A斜的桌子允許在X和Y平面上校正高達(dá)1°的樣品不平整度。每點(diǎn)1秒以的尺寸映射任何尺寸的晶片。舞臺(tái)精度:10微米以內(nèi)數(shù)據(jù)輸出:2D / 3D彩色圖像的膠片厚度,折射率和位置,以用于監(jiān)視氧氣分析儀,文件或打印機(jī)。文本數(shù)據(jù)文件很容易導(dǎo)出到其他程序。電腦:隨附?10筆記本電腦膜厚范圍:基板或1、2或3個(gè)已知子層上的0-60,000埃精度和重復(fù)性:在大多數(shù)測(cè)量范圍內(nèi)低于亞埃。
折光率:在大多數(shù)測(cè)量范圍內(nèi)為±0.0005。功率:115V,100V,220V,240V(50/60 Hz)尺寸(LSE-WS):高度:18英寸寬度:28英寸深度:20英寸凈重:85磅。運(yùn)輸重量:200磅。CE合規(guī)性:S系列橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標(biāo)志。CDRH合規(guī)性:蓋特納()提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求 1040,用于發(fā)出小于1 mW的II類激光產(chǎn)品或小于5 mW的IIIb類激光產(chǎn)品。與任何明亮的光源(例如太陽(yáng)燈或弧光燈)一樣,操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。保證:1年保修涵蓋所有零件和人工,不包括運(yùn)輸費(fèi)用
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